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測(cè)定方法:
①在防靜電的室內(nèi)(丙烯樹(shù)脂制、不銹鋼制)設(shè)置氣缸
②提供與顆粒計(jì)數(shù)器吸入量(28.3/min)相同流量的潔凈空氣(0.1μm過(guò)濾器)
③在不動(dòng)作狀態(tài),確認(rèn)顆粒計(jì)數(shù)器的值為“0”
④使氣缸動(dòng)作,測(cè)量動(dòng)作中產(chǎn)生的顆粒
※使用帶密封的測(cè)試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進(jìn)入室內(nèi)
測(cè)定條件:
空氣質(zhì)量
氣缸驅(qū)動(dòng)用:「等級(jí)2.2.1」(JISB8392-1)
凈化用:「等級(jí)2.2.1」+0.1μm氣體過(guò)濾器
氣缸供應(yīng)壓力:0.5MPa
氣缸動(dòng)作速度:一般速度(200mm/s)
動(dòng)作條件:無(wú)負(fù)荷、水平設(shè)置(與凈化流量平行)
對(duì)排氣處理型的溢流氣口配管,排放到測(cè)試室外
對(duì)真空除塵型的真空除塵氣口配管,進(jìn)行真空除塵(-26KPa)