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簡要描述:日本SMC真空閥,SMC高真空L型閥特長 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu),無氣體滯留。與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
日本SMC真空閥,SMC高真空L型閥
特長
采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu),無氣體滯留。
與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
SMC高真空閥L型及直通型
在半導(dǎo)體制造過程中,腐蝕裝置,噴鍍裝置,粒子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板方在真空是內(nèi)處理,該真空室供氣,排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏,耐腐蝕且是潔凈規(guī)格.
SMC高真空閥L型及直通型型號列表
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:李 生
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日本SMC真空閥,SMC高真空L型閥
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